Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-materials and MEMS
/ Kiyotaka Wasa
Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-materials and MEMS
المؤلف
/ Kiyotaka Wasaالناشر
William Andrewطبع 1
978-1-4377-3483-6
قائمة
شناسنامه
العنوان واسم المؤلف
Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-materials and MEMS / / Kiyotaka Wasaبيانات النشر
: William Andrew، 2012مالمعرّفات المضافة
نویسنده.
اللغة
انگلیسیالفهرس
کانورتور