Plasma-sufrace interctions and processing of materials
/ edited by Orlanso Auciello...
Plasma-sufrace interctions and processing of materials
المؤلف
/ edited by Orlanso Auciello...طبع 1
قائمة
شناسنامه
العنوان واسم المؤلف
Plasma-sufrace interctions and processing of materials / / edited by Orlanso Auciello...بيانات النشر
دوردرخت : : Kluwer Academic Publishers، 1990مالمواصفات الشكلية
xiii, 557 p.؛ ; 24 cm؛ : ill, fig..الموضوع
MaterialsSurfaces
Congresses
Materials
Effect of rediation on
Congresses
Microelectronics
Materials
Effect of radiation on - Congresses
Plasma etching
Congresses
مسلسل
(NATO ASI series. Series E, Applied sciences؛ ; vol. 176)المعرّفات المضافة
Auciello, Orando، نویسنده .
اللغة
انگلیسیرقم الاسترجاع
المؤتمر:
انگليسي.
Includes bibliographical refrences and index.
Includes bibliographical refrences and index.
