Microlithography
/ David J. Elliott
طبع 1
قائمة
شناسنامه
المدخل الرئيسي
Elliott, David J، نویسندهالعنوان واسم المؤلف
Microlithography / / David J. Elliottبيانات النشر
نیویورک : : McGraw - Hill Book Company، 1989مالمواصفات الشكلية
xix, 378 p.؛ ; 22 cm؛ : illus, fig..الموضوع
Integrated CircuitsVery large scale integration
Design and construction
Microlithography
Photoresists
اللغة
انگلیسیرقم الاسترجاع
المؤتمر:
انگليسي.
Includes index.
Includes index.
