مدلسازي رايانهاي تبديل گازهاي CH4 و CF4 به عنوان گازهاي گلخانهاي در حضور N2 و O2 در پلاسماهاي مورد استفاده در فرآيند قلمزني نانوسيليکون
/ مهسا ستاره
مدلسازي رايانهاي تبديل گازهاي CH4 و CF4 به عنوان گازهاي گلخانهاي در حضور N2 و O2 در پلاسماهاي مورد استفاده در فرآيند قلمزني نانوسيليکون
المؤلف
/ مهسا ستارهطبع 1
قائمة
شناسنامه
المدخل الرئيسي
نویسندهالعنوان واسم المؤلف
مدلسازي رايانهاي تبديل گازهاي CH4 و CF4 به عنوان گازهاي گلخانهاي در حضور N2 و O2 در پلاسماهاي مورد استفاده در فرآيند قلمزني نانوسيليکون / / مهسا ستارهالمواصفات الشكلية
ذ، 138 ص.؛ : مصور، جدول، نمودار (رساله).الموضوع
پلاسماگازهاي گلخانهاي
شبيهسازي رايانهاي
متان
تترافلورومتان
نانوسيليسيوم
اللغة
فارسی