ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما
/ رضا رمضاني عباس قلعه
ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما
المؤلف
/ رضا رمضاني عباس قلعهطبع 1
قائمة
شناسنامه
المدخل الرئيسي
رمضاني عباس قلعه، رضا، نویسندهالعنوان واسم المؤلف
ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما / / رضا رمضاني عباس قلعهالمواصفات الشكلية
ك , 111ص.؛ : عکس، نمودار، جدول.الموضوع
ميكروافزاره الكتروشيمياييميكروكانتيلور سيليكني
پديده چسبندگي
ولتامتري چرخه اي
فناوري MEMS
اللغة
فارسی