Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-materials and MEMS
/ Kiyotaka Wasa
Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-materials and MEMS
نویسنده
/ Kiyotaka Wasaناشر
William Andrewنسخه 1
978-1-4377-3483-6
فهرست
شناسنامه
عنوان و نام پدیدآور
Handbook of Sputter Deposition Technology: Fundamentals and Applications for Functional Thin Films, Nano-materials and MEMS / / Kiyotaka Wasaمشخصات نشر
: William Andrew، 2012مشناسه های افزوده
نویسنده.
زبان
انگلیسیفهرست نویس
کانورتور