Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization_ Fabrication of Next-Generation Nanodevices
/ Ungyu Paik, Jea-Gun Park
Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization_ Fabrication of Next-Generation Nanodevices
المؤلف
/ Ungyu Paik, Jea-Gun Parkالناشر
CRC Pressطبع 1
978-1-4200-5911-3
قائمة
شناسنامه
العنوان واسم المؤلف
Nanoparticle Engineering for Chemical-Mechanical Planarization_ Fabrication of Next-Generation Nanodevices / / Ungyu Paik, Jea-Gun Parkبيانات النشر
: CRC Press، 2009مالموضوع
Chemistryالمعرّفات المضافة
نویسنده.
اللغة
انگلیسیالفهرس
کانورتور