Single chamber processing
/ edited by Yves I. Nissim, Avishay Katz
Single chamber processing
المؤلف
/ edited by Yves I. Nissim, Avishay Katzطبع 1
0-444-89915-4
قائمة
شناسنامه
العنوان واسم المؤلف
Single chamber processing / / edited by Yves I. Nissim, Avishay Katzبيانات النشر
آمستردام : : North - Holland، 1993مالمواصفات الشكلية
x, 162 p.؛ ; 28 cm؛ : ill, diagrs..الموضوع
SemiconductorsDesign and Construction
Vacuum technology
Congresses
مسلسل
(European Materials Research Society Symposia proceedings؛ ; v. 37)المعرّفات المضافة
Nissim, Yves I, 1953-، نویسنده .
Katz, Avishay، نویسنده .
Katz, Avishay، نویسنده .
اللغة
انگلیسیرقم الاسترجاع
المؤتمر:
ملاحظات
انگليسي.Includes bibliographical references.
