Microlithography
/ David J. Elliott
نسخه 1
فهرست
شناسنامه
سرشناسه
Elliott, David J، نویسندهعنوان و نام پدیدآور
Microlithography / / David J. Elliottمشخصات نشر
نیویورک : : McGraw - Hill Book Company، 1989ممشخصات ظاهری
xix, 378 p.؛ ; 22 cm؛ : illus, fig..موضوع
Integrated CircuitsVery large scale integration
Design and construction
Microlithography
Photoresists
زبان
انگلیسیشماره بازیابی
کنگره:
یادداشت
انگليسي.Includes index.
