طراحي و ساخت دستگاه لايه برداري سيليكون و استفاده از آن در ساخت حسگر هاي شتاب
/ حسين زارعي
طراحي و ساخت دستگاه لايه برداري سيليكون و استفاده از آن در ساخت حسگر هاي شتاب
Author
/ حسين زارعيEdition 1
list
شناسنامه
Main Entry
زارعي، حسين، نویسندهTitle and Author
طراحي و ساخت دستگاه لايه برداري سيليكون و استفاده از آن در ساخت حسگر هاي شتاب / / حسين زارعيPhysical Description
94ص..Subject
سونشEtching
سيليكون ها
Silicones
سيستم هاي ريزالكترومكانيكي
Microelectromechanical systems(MEMS)
شتاب سنج
Accelerometer
ريزماشين كاري
Micro machining
حسگرها
Sensors
Language
فارسی