ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما
/ رضا رمضاني عباس قلعه
ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما
Author
/ رضا رمضاني عباس قلعهEdition 1
list
شناسنامه
Main Entry
رمضاني عباس قلعه، رضا، نویسندهTitle and Author
ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما / / رضا رمضاني عباس قلعهPhysical Description
ك , 111ص.؛ : عکس، نمودار، جدول.Subject
ميكروافزاره الكتروشيمياييميكروكانتيلور سيليكني
پديده چسبندگي
ولتامتري چرخه اي
فناوري MEMS
Language
فارسی