مدلسازي رايانهاي تبديل گازهاي CH4 و CF4 به عنوان گازهاي گلخانهاي در حضور N2 و O2 در پلاسماهاي مورد استفاده در فرآيند قلمزني نانوسيليکون
/ مهسا ستاره
مدلسازي رايانهاي تبديل گازهاي CH4 و CF4 به عنوان گازهاي گلخانهاي در حضور N2 و O2 در پلاسماهاي مورد استفاده در فرآيند قلمزني نانوسيليکون
Author
/ مهسا ستارهEdition 1
list
شناسنامه
Main Entry
نویسندهTitle and Author
مدلسازي رايانهاي تبديل گازهاي CH4 و CF4 به عنوان گازهاي گلخانهاي در حضور N2 و O2 در پلاسماهاي مورد استفاده در فرآيند قلمزني نانوسيليکون / / مهسا ستارهPhysical Description
ذ، 138 ص.؛ : مصور، جدول، نمودار (رساله).Subject
پلاسماگازهاي گلخانهاي
شبيهسازي رايانهاي
متان
تترافلورومتان
نانوسيليسيوم
Language
فارسی