تعيين کيفيت الگوهاي ليتوگرافي با اندازهگيري نمايه موجبرهاي نوري مبتني بر توابع انتقال اپتيکي
/ اميرحسين شهبازي
تعيين کيفيت الگوهاي ليتوگرافي با اندازهگيري نمايه موجبرهاي نوري مبتني بر توابع انتقال اپتيکي
نویسنده
/ اميرحسين شهبازينسخه 1
فهرست
شناسنامه
سرشناسه
نویسندهعنوان و نام پدیدآور
تعيين کيفيت الگوهاي ليتوگرافي با اندازهگيري نمايه موجبرهاي نوري مبتني بر توابع انتقال اپتيکي / / اميرحسين شهبازيمشخصات ظاهری
ص، 137 ص، الف 9.؛ : مصور(رنگي)، نمودار، جدول (رساله).زبان
فارسی