بررسي ليتوگرافي در ابعاد نانو با استفاده از نانولوله هاي كربني بر روي زير لايه يسليكان
/ محمدمهدي صادقي
بررسي ليتوگرافي در ابعاد نانو با استفاده از نانولوله هاي كربني بر روي زير لايه يسليكان
نویسنده
/ محمدمهدي صادقينسخه 1
فهرست
شناسنامه
سرشناسه
صادقي، محمدمهدي، نویسندهعنوان و نام پدیدآور
بررسي ليتوگرافي در ابعاد نانو با استفاده از نانولوله هاي كربني بر روي زير لايه يسليكان / / محمدمهدي صادقيمشخصات ظاهری
: عکس، نمودار.موضوع
نانولوله هاNanotubes
نانولوله هاي كربني
Carbon nanotubes
سيليسيم
Silicon
ليتوگرافي
Lithography
ريزماشين كاري
Micro machining
زبان
فارسی