طراحي و ساخت دستگاه لايه برداري سيليكون و استفاده از آن در ساخت حسگر هاي شتاب
/ حسين زارعي
طراحي و ساخت دستگاه لايه برداري سيليكون و استفاده از آن در ساخت حسگر هاي شتاب
المؤلف
/ حسين زارعيطبع 1
قائمة
شناسنامه
المدخل الرئيسي
زارعي، حسين، نویسندهالعنوان واسم المؤلف
طراحي و ساخت دستگاه لايه برداري سيليكون و استفاده از آن در ساخت حسگر هاي شتاب / / حسين زارعيالمواصفات الشكلية
94ص..الموضوع
سونشEtching
سيليكون ها
Silicones
سيستم هاي ريزالكترومكانيكي
Microelectromechanical systems(MEMS)
شتاب سنج
Accelerometer
ريزماشين كاري
Micro machining
حسگرها
Sensors
اللغة
فارسی