طراحي، ساخت و كنترل عملگر دوبعدي با دقت ميكروني براي پياده سازي ساختارهاي دوبعدي
/ وحدت همايون
طراحي، ساخت و كنترل عملگر دوبعدي با دقت ميكروني براي پياده سازي ساختارهاي دوبعدي
نویسنده
/ وحدت همايوننسخه 1
فهرست
شناسنامه
سرشناسه
همايون، وحدت، نویسندهعنوان و نام پدیدآور
طراحي، ساخت و كنترل عملگر دوبعدي با دقت ميكروني براي پياده سازي ساختارهاي دوبعدي / / وحدت همايونمشخصات ظاهری
ی , 102ص.؛ : تصوير، نمودار، جدول.موضوع
روشهاي ساخت ادوات MEMSجابجاگر ميكرومتري
كنترل فازي
زبان
فارسی