ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما
/ رضا رمضاني عباس قلعه
ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما
نویسنده
/ رضا رمضاني عباس قلعهنسخه 1
فهرست
شناسنامه
سرشناسه
رمضاني عباس قلعه، رضا، نویسندهعنوان و نام پدیدآور
ايجاد ميكروساختارها و نانوساختارهاي سه بعدي سيليكن با رزولوشن بالا با استفاده از زدايش پلاسما / / رضا رمضاني عباس قلعهمشخصات ظاهری
ك , 111ص.؛ : عکس، نمودار، جدول.موضوع
ميكروافزاره الكتروشيمياييميكروكانتيلور سيليكني
پديده چسبندگي
ولتامتري چرخه اي
فناوري MEMS
زبان
فارسی